Phasis社では直径4"のシリコンウエハー上に蒸着させたことは有ります。
シリコンウエハーはお客様からご提供いただいた物を使います。

ウエハー上全面に蒸着膜を作りますが、マスクがウエハーの上に被さるので、マスクの陰になり、円周の内側に幅1mmの帯状膜の蒸着されないブランク部分が出来ます。

蒸着面の粗さ、平坦度はご提供のシリコンウエハーの粗さとほぼ近似しています。ご提供頂く前に，粗さ計測をしておいてください。

ご注文時には蒸着させる金の厚みのご指示をお願い致します。

蒸着後のウエハーの切断はPhasis社では行っておりません。
ご承知置き下さい。